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スウェージロック社、超高純度用ALD7バルブをリリース

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超高純度用ALD7

半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上を実現する、超高純度（UHP）用Swagelok® ALD7バルブをリリース

進化したダイヤフラム・バルブが、最高レベルの供給精度、高速開閉、数千万回を超える製造サイクルにおいても安定したパフォーマンスを提供します。


本文は、米国スウェージロック社から発表されたプレスリリースを抄訳したものです。原文との間に内容的な齟齬がある場合には、英文が優先されます。原文については 英語版 をご覧ください。

2022年8月2日 —  流体システム・コンポーネントの製造およびソリューションを提供するスウェージロック社（本社：米国オハイオ州ソロン、会長兼最高経営責任者：トーマス・F・ロジック）は、超高純度（UHP）用Swagelok® ALD7ダイヤフラム・バルブをリリースすることを発表しました。ALD7バルブは、半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性を併せ持っています。現行の最上位モデルSwagelok ALD6バルブと比較すると、ALD7バルブは流量の一貫性、流量性能、作動スピードが向上しています。また、デバイス・メーカーが現在の製造プロセスにおける制限を克服し、需要に応える上で欠かせない高温下のパフォーマンスを提供します。

ALD7バルブは、新しい製造装置はもちろん、従来装置にも組み込むことができ、既存のバルブと同じ1.5 インチ・サイズ（38.1 mm）のフットプリント（設置面積）ながら、流量性能の向上［最大流量係数（Cv値）：0.7］を実現しています。これにより、先端技術を支えるデバイスに対する世界的な需要に応えることが可能になります。また、ALD7バルブは、ALD6バルブよりも高速かつ一貫して作動するため、数千万サイクルのALD（原子層蒸着）製造において正確な供給を行います。アクチュエーターの開閉レスポンス・タイム（応答時間）は、5ミリ秒未満です。アクチュエーターは150°C まで、バルブ・ボディは200°C まで使用可能なため、高温供給が必要な低蒸気圧のプリカーサーをしっかりとサポートします。これにより、スループットおよび歩留まりを最大化するのに必要な制御を行うことが可能となります。

ALD7バルブは、断熱カップリングを内蔵したコンパクトな設計を採用しているため、デバイス製造装置のリアクション・チャンバー周辺の限られたスペースを最大限に活用することができます。また、バルブ・ボディ材質にスウェージロック独自の超高純度用316L VIM-VARステンレス鋼を使用しているため、ALDプロセスで使用する腐食性ガスに対して高い耐性を有しています。その結果、ALD7バルブは幅広いプロセス条件下においても一貫したパフォーマンスを発揮することから、半導体製造装置メーカーは、オペレーション・コストを抑えつつ、生産性の向上を実現することができます。

スウェージロック社の製品マネジャー、ベン・オレフノビッチは次のように述べています。「当社は、業界初となるALD専用バルブを約20年前に開発しました。それ以来、デバイス・メーカーが処理ノードの短縮 およびデバイス歩留まりの最大化に取り組む中、当社は半導体業界のお客さまと共に、超高純度用バルブに求められているパフォーマンス・レベルの理解に努めてきました。その結果、斬新なアイデアを追求し、より高速で作動し、過酷な環境下でもパフォーマンスを発揮し、要求の厳しい原子層プロセスにおいても大きな流量係数（Cv値）を実現するALD7バルブの開発にこぎつけました。当社は、あらゆる条件を満たし、24時間製造を可能にする信頼性の高いバルブとして、ALD7バルブを設計しました。ALD7バルブは、メーカーに対する要求項目が多く、常に変化し続ける業界において、お客さまが他社に一歩先んじるのに欠かせない一貫したパフォーマンスを提供します」

今回リリースしたALD7バルブは、集積バルブ（大流量用Cシール・デザイン）およびストレート型（エンド・コネクション：チューブ突き合わせ溶接、VCR®面シール継手）があります。またオプションとして、高温用電気式インジケーター、光学式ポジション・センサー、ソレノイド・パイロット・バルブも用意しています。

超高純度用Swagelok ALD7バルブの詳細につきましては、 ウェブサイト をご覧いただくか、最寄りの スウェージロック指定販売会社 までお問い合わせください。

スウェージロック社について

年間売上高約20億米ドルのプライベート・カンパニーであるスウェージロック社は、オイル／ガス、化学／石油化学、半導体、輸送などの業界に向けて流体システム製品、アセンブリー、サービスの開発を行っています。米国オハイオ州に本社を置くスウェージロック社は、70カ国で約200カ所の指定販売会社を展開し、また20カ所の製造施設、5カ所のグローバル・テクノロジー・センターでは5,700人を超える従業員が勤務しています。